潔凈室的廢水處理

　　一、工業潔凈室特別是電子工業潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機廢水等不同行業、不同產品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進行處理，處理后的廢水達到國家排放標準方能排放。

　　半導體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學中和沉淀法處理。其典型流程如下：

　　二、生物潔凈室特別是生物安全實驗室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質，而且產品品種、生產工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達標才能排放。

　　潔凈室的廢氣處理

　　一、工業潔凈室，特別是電子工業潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業、不同產品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達到國家排放標準后方能排到室外。

　　1、一般由生活用房、值班室、衛生間排出的一般廢氣可直接排到室外。

　　2、排放的有機廢氣超標時必須經過有機廢氣處理設備處理達標后再排放有機廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。

　　3、含酸堿廢氣在生產工藝中排放的較多，一般都是經過淋液濕式洗氣吸收塔進行中和處理達標排放。

　　4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。

　　5、含塵廢氣必須經過適當的除塵裝置除塵后再排至大氣。

　　6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統中產生化學反應并通過專用的廢氣處理設備處理后達標排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。

　　二、生物潔凈室尤其是生物安全實驗室的排風一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風須經過過濾滅菌后再排放。如手術室的排風須經過中效過濾方能排到室外;P3實驗室的排風須經過高效過濾器過濾后方能排到室外;P4實驗室的排風須經過兩級高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全*好采用袋進袋出的高效過濾器裝置。

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